L'industrie des semi-conducteurs exige une propreté, une résistance à la corrosion et une stabilité extrêmement élevées de la part des matériaux des composants, et les composants structurels en céramique répondent parfaitement à ces exigences, ce qui en fait un composant clé des équipements semi-conducteurs.
Lors de la fabrication des plaquettes, l’environnement interne des équipements est fréquemment soumis à des températures élevées, à un vide poussé et à une forte corrosion. Les matériaux métalliques traditionnels se corrodent facilement ou libèrent des impuretés, tandis que les composants structurels en céramique possèdent une excellente stabilité chimique et de faibles caractéristiques de perte de particules, garantissant ainsi un environnement de production propre.
Les pièces céramiques semi-conductrices courantes comprennent les mandrins en céramique, les éléments chauffants en céramique, les anneaux isolants, les buses et les composants de guidage. Parmi ceux-ci, les mandrins électrostatiques utilisent les excellentes propriétés isolantes des matériaux céramiques pour fixer les plaquettes et constituent l'un des composants essentiels des équipements semi-conducteurs.
À mesure que les processus de fabrication de puces progressent vers des niveaux plus élevés, les exigences de précision des équipements deviennent de plus en plus strictes. Les matériaux céramiques avancés, avec leur stabilité dimensionnelle et leur résistance à la corrosion plasmatique, joueront un rôle encore plus important dans la future industrie des semi-conducteurs.